項目簡介
UPS可測試樣品的價帶和功函數(shù):
(1)樣品導(dǎo)電性良好時,可以加偏壓得到二次截止邊計算功函數(shù);
(2)樣品導(dǎo)電性差時,無法加偏壓,可以開中和槍測試價帶譜,得不到功函數(shù);
(3)一個樣品默認(rèn)一個測試位置。
結(jié)果展示
??????? 常見問題
??????? 1. UPS價帶譜和XPS區(qū)別?
??????? 從光源上看:UPS較XPS能量分辨率的提高,決定了用UPS可以檢測到價帶譜更精細(xì)的結(jié)構(gòu);
??????? 從激發(fā)截面看:用紫外線激發(fā)較X-ray激發(fā)外層電子有更大的散射截面,這代表UPS檢測價帶譜較XPS檢測價帶譜有更高的計數(shù)比,通常情況下PHI公司的UPS計數(shù)為Mcps,而用XPS則只有幾百cps;
??????? 從檢測深度來看:UPS激發(fā)的價帶電子動能較XPS激發(fā)的電子動能小,所以信息來源深度更淺。總之對表面狀態(tài)更加敏感;
??????? 綜上,UPS較XPS更適合得到材料的價帶譜結(jié)構(gòu);
??????? 2. UPS測試中,VB值與理論值偏高?
??????? 樣品表面粗糙度太大導(dǎo)致的。
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