項目簡介
橢圓偏振主要用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構，通過精確測量薄膜樣品的橢偏參數,經過后期數學處理、模擬和擬合，從而推導出多層結構、均勻和非均勻結構的厚度、光學常數(折射率，消光系數)、組分以及其他相關參數。
結果展示
可得到膜厚及n，k曲線
常見問題
1. 橢偏儀可以測量哪些參數?
利用橢偏儀測量薄膜參數，測量得到是的反射光的偏振狀態(tài)(振幅和相位)通過軟件建立一定的模型，膜厚，折射率，消光系數等參數時一并可以得到;
??????? 2. 橢偏儀適用于哪些材料的測試?
??????? 橢偏儀適用于無機材料，樣品有一定透光性。
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