項目簡介
透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, 簡稱TEM),是一種把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度等相關,因此可以形成明暗不同的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏,膠片以及感光耦合組件)上顯示出來的顯微鏡。
常見項目
場發(fā)射透射電鏡(TEM)、場發(fā)射透射電鏡--現(xiàn)場測試/遠程視頻
結果展示
普通形貌
高分辨形貌
選取電子衍射SAED
常見問題
1. TEM制樣方法分類?
粉末樣品:直接用分散劑超聲分散滴在載網(wǎng)上進行觀察;或進行樹脂包埋,超薄切片后,轉移銅網(wǎng)上進行制樣;
復型技術:常用復型材料為非晶碳膜和各種塑料薄膜,對樣品沒有損壞;
化學減薄/雙噴減?。簩τ诖蟛糠纸饘贅悠罚梢赃M行化學減薄或雙噴減薄;
離子減?。簩τ谔沾苫蚪饘俸辖鸷衔铮瑹o法電解腐蝕,只能用離子減薄;
聚焦離子束FIB:與電解雙噴和離子減薄相比,可通過SEM在線觀察下進行定點制樣,獲得更高質量的TEM樣品;
2. TEM制樣時載網(wǎng)的分類,如何選擇?
載網(wǎng)由金屬網(wǎng)、支持膜和導電膜組成。
金屬裸網(wǎng)材質有銅、鎳、鉬、金、鋁等;銅網(wǎng)較為常見,如果能譜分析銅元素時,則應該選擇其他材質載網(wǎng);
支持膜包括:
(1)方華膜(聚乙烯醇縮甲醛):純有機膜,導電性差,電子束下不耐高溫或發(fā)生電荷積累而產(chǎn)生樣品漂移,多用于低電壓電鏡或生物樣品;
(2)碳支持膜:方華膜和碳膜組成,最為常用,碳膜的存在增加了導熱和導電性,但由于碳顆粒本身的襯度問題,在觀察樣品高分辨形貌時則不合適;
(3)微柵膜:在碳支持膜上制作些微孔,解決了高分辨觀察樣品時的背底襯度問題;
(4)超薄碳膜:使用微柵膜時,棒狀或片材可搭載在孔邊緣,但納米級顆粒由于尺寸小于微柵孔,無法搭載,但是碳支持膜襯度又差,在微柵膜上再增加一層超薄碳膜,可使納米顆粒負載在超薄碳膜上的同時也提高了圖像襯度;
(5)純碳膜:部分分散劑(氯仿等)會溶解方華膜,則可去除方華膜,即為純碳膜;
3. 磁性樣品都有什么?
(1)含鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、釓(Gd)等鐵磁性元素的氧化物、金屬、尖晶石等;
(2)釹鐵硼(NdFeB)/釤鈷(SmCo)等稀土永磁材料;
(3)釤(Sm)、鐠(Pr)、釹(Nd)、鏑(Dy)、鋱(Tb)等稀土元素的磁性助劑。