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       項目簡介

       XPS，全稱為X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射線光電子能譜），早期也被稱為ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是一種使用電子譜儀測量X-射線光子輻照時樣品表面所發(fā)射出的光電子和俄歇電子能量分布的方法。

       XPS可用于定性分析以及半定量分析, 一般從XPS圖譜的峰位和峰形獲得樣品表面元素成分、化學態(tài)和分子結(jié)構(gòu)等信息，從峰強可獲得樣品表面元素含量或濃度。

       1.  X射線光電子能譜（XPS）可測試全譜、精細譜、俄歇譜、價帶譜，也可刻蝕后采譜得到深層的信息；

       2.  X射線光電子能譜（XPS）按元素個數(shù)收費（需要包含必測元素C，不能測試H、He元素）；一個元素默認測一個軌道，若測試多個軌道計為多個元素；一個樣品默認一個測試位置，若測試多個位置計為多個位置；

       3.  XPS定量為半定量數(shù)據(jù)。原子百分含量小于5%的元素可能測不出明顯信號；

       4.  測試默認單色化Al靶（Al Kα source），能量1486.68eV；

       常見項目

       X射線光電子能譜（XPS）

       微區(qū)XPS測試：除了材料的體相成分信息外，許多研究會關(guān)注材料表面深度約1 μm以內(nèi)的微區(qū)結(jié)構(gòu)和成分信息。

       XPS深度剖析：可測試元素沿樣品深度上的含量變化。

       結(jié)果展示

       

       常見問題       

       1. XPS測試，譜圖如何校正、定標？

       一般是以C-C峰284.6ev進行校正的，總譜、分譜是不同的測試方法，所有不是一起校正的，只校正分譜數(shù)據(jù)，總譜不用校正；價帶譜VB是以剛出峰的位置為0進行校正的。

       2. XPS半定量處理時，元素測試了不同軌道的譜圖，定量以哪個為準？

       定量是以元素的特征軌道譜圖為準，如果存在多個軌道，切忌重復計算；若不同元素間軌道有重合，一般需要掃一下元素的非特征軌道來計算含量